低溫等離子過氧化氫滅菌器是利用等離子體和過氧化氫滅菌劑對手術器械和醫療器械進行快速滅菌，不但提高了手術器械周轉率，而且減少了貴重器械采購數量。滅菌過程中滅菌倉內保持低溫狀態，尤其適用于對濕熱敏感的醫療器械用品，可有效減少滅菌器械的損耗。該設備可以直接放在潔凈空間使用，不用排風、排水裝置，副產物為少量的水和二氧化碳。
等離子體是氣體經電離后產生的由正負離子組成的離子化氣體狀物質，常被視為是除固、液、氣外，物質存在的第四態。當氣體被作用于*的能量，它就會變成有離子因素的等離子體。隨著正負離子的數量不斷抵消，等離子體電性變成中立的。
低溫等離子體滅菌過程中會有許多因素影響終滅菌效果，如果處理不好，會導致滅菌失敗，既增加了工作量也浪費了時間。
1、器械清潔不*：器械上有血跡及其他雜質殘留，都會影響低溫等離子過氧化氫滅菌器的滅菌效果。
器械在滅菌前應按照《醫院消毒供應中心清洗消毒技術操作規范》有關規定*清洗干凈。
2、器械干燥不夠：過氧化氫溶于水，器械潮濕會過多消耗滅菌艙內過氧化氫，降低濃度，導致滅菌失敗。
要檢查待滅菌物品的清潔度和干燥程度，并用消毒包裝袋單個密封包裝，或放入滅菌器械盒內，用雙層無紡布包裹。
3、滅菌時器械裝載不當：器械疊加，器械過長或接觸艙壁門，均會影響滅菌效果。
裝好器械的消毒包裝袋應逐個、單層平放，不可重疊。金屬器械不能與滅菌艙側壁接觸，距滅菌室內壁的距離宜5cm以上。
4、滅菌系統的自身因素：由于設備自身系統發生故障致滅菌失敗。
滅菌前檢查設備性能是否良好，設置滅菌運行程序。滅菌過程中認真觀察監測屏顯示的溫度及機器運轉狀況，遇有故障，立即停止滅菌。
5、過氧化氫液質量不合格或過期：過氧化氫溶液應在室溫避光陰涼處存放。工作人員應及時更換過氧化氫液，并標明更換日期。
6、指示卡不變色：若放指示卡時將其緊貼在包裝袋的塑面，在滅菌過程中過氧化氫不能接觸指示卡變色條，則指示卡不變色，或指示卡在空氣中放置時間太長，雖在有效期內但已被氧化或變潮，則滅菌后也不變色。
應將指示卡避光保存防止氧化，使用時用小鑷輕輕夾取，放于包裝袋內防止污染。
